100%无轴承：磁悬浮实现零接触6自由度，应用于混合键合，晶圆计量 来源: PRNewswire · 发布时间: 2026-11-03 21:13:00 相关股票: PI 三个技术演示，一个400mm线性平台，一个旋转晶圆平台和一个皮米级AFM扫描仪，在不接触轴承、润滑或磨损的情况下，通过电子方式纠正运动误差。， 2026年11月3日/美通社/——PI （Physik Instrumente）显示了多种…<；/p>；